Operation of the Angle Resolving Lens on Theta Probe
Aplikace | 2008 | Thermo Fisher ScientificInstrumentace
Analýza úhlového rozlišení elektronů hraje klíčovou roli při studiu povrchových jevů, difrakčních efektů a chemického složení materiálů. Metoda kombinující energetické a úhlové rozlišení umožňuje detailní zobrazení kinetické energie fotoelektronů a jejich úhlového rozložení, což je zásadní pro aplikace v povrchové analýze, fyzice pevných látek nebo materiálovém výzkumu.
Cílem dokumentu je popsat principy a praktickou implementaci úhlově rozlišujícího režimu přenosové čočky v přístroji Thermo Scientific Theta Probe. Studie demonstruje, jak optickou analogií dvou čočkových systémů dosáhnout současného rozlišení energie i úhlu vycházejících elektronů na dvourozměrném detektoru.
V experimentu byl použit systém Theta Probe vybaven:
Optický princip spočívá v odděleném zaostření energie a úhlu elektronů:
Výsledky ukazují:
Úhlově a energeticky rozlišující provoz Theta Probe nabízí:
Očekávané směry rozvoje:
Implementace úhlové čočky v režimu Theta Probe spojuje výhody energetického a úhlového zobrazování fotoelektronů. Použití quadrupólové čočky umožňuje nezávislé optimalizování ohnisek v obou rovinách, čímž se dosahuje vysoce informativní 2D detekce. Metoda nachází využití v povrchové analýze, studiu difrakčních jevů a charakterizaci moderních materiálů.
X-ray
ZaměřeníMateriálová analýza
VýrobceThermo Fisher Scientific
Souhrn
Význam tématu
Analýza úhlového rozlišení elektronů hraje klíčovou roli při studiu povrchových jevů, difrakčních efektů a chemického složení materiálů. Metoda kombinující energetické a úhlové rozlišení umožňuje detailní zobrazení kinetické energie fotoelektronů a jejich úhlového rozložení, což je zásadní pro aplikace v povrchové analýze, fyzice pevných látek nebo materiálovém výzkumu.
Cíle a přehled studie
Cílem dokumentu je popsat principy a praktickou implementaci úhlově rozlišujícího režimu přenosové čočky v přístroji Thermo Scientific Theta Probe. Studie demonstruje, jak optickou analogií dvou čočkových systémů dosáhnout současného rozlišení energie i úhlu vycházejících elektronů na dvourozměrném detektoru.
Použitá instrumentace
V experimentu byl použit systém Theta Probe vybaven:
- hemisférickým analyzátorem sloužícím zároveň jako energetický filtr a zaostřovací prvek,
- dvěma elektrostatickými čočkami (Lens 1 a Lens 2),
- čtyřkvadrantovou (quadrupólovou) střední čočkou umožňující rozdílné zaostření v rovinách xz a yz,
- dvourozměrným detektorem pro simultánní záznam energie a úhlu.
Použitá metodika
Optický princip spočívá v odděleném zaostření energie a úhlu elektronů:
- V „energetické rovině“ (xz) tvoří Lens 1 a Lens 2 zobrazovací systém, kde se poloha na vstupní štěrbině analyzátoru váže na kinetickou energii elektronů.
- V „úhlové rovině“ (yz) je zaostřovací ohnisková vzdálenost Lens 2 volena rovna vzdálenosti od prvního obrazového roviny k Lens 2, čímž se poloha na štěrbině odvíjí jen od výchozího vyzařovacího úhlu.
- Quadrupólová střední čočka umožňuje nastavit různou ohniskovou vzdálenost v obou rovinách.
- Sledované trajektorie elektronů jsou simulovány pro kombinace rozdílných energií při konstantním úhlu a naopak.
Hlavní výsledky a diskuse
Výsledky ukazují:
- Na detektoru se v jednom směru promítá rozlišení energie a ve druhém úhlové rozlišení s dosahem β až ±30° (pro energetickou rovinou α ≈ ±2,5°).
- Řešení s quadrupólovou čočkou zabezpečuje stabilní obraz v obou rovinách bez vzájemného ovlivnění.
- Hemisférický analyzátor zachovává zrcadlové zobrazení úhlu i v perspektivě výstupní rovině.
Přínosy a praktické využití metody
Úhlově a energeticky rozlišující provoz Theta Probe nabízí:
- Možnost simultánního měření energie a úhlu fotoelektronů, vhodné pro povrchovou difrakci a studium elektronových pásem.
- Vysokou citlivost díky širokému sběrnému úhlu (až 60°) a zvětšení 4× ve vstupní čočce pro minimalizaci výchylky do druhé čočky.
- Aplikace v kvalitativní i kvantitativní analýze tenkých vrstev, oxidů a nanostruktur.
Budoucí trendy a možnosti využití
Očekávané směry rozvoje:
- Vylepšení elektrických čoček s dynamickým přizpůsobením zaostření pro ještě širší úhlové rozlišení.
- Integrace s imagingovými detektory s vyšší prostorovým rozlišením a rychlejší akvizicí dat.
- Rozšíření o časově rozlišené měření pro sledování dynamických dějů na povrchu.
Závěr
Implementace úhlové čočky v režimu Theta Probe spojuje výhody energetického a úhlového zobrazování fotoelektronů. Použití quadrupólové čočky umožňuje nezávislé optimalizování ohnisek v obou rovinách, čímž se dosahuje vysoce informativní 2D detekce. Metoda nachází využití v povrchové analýze, studiu difrakčních jevů a charakterizaci moderních materiálů.
Obsah byl automaticky vytvořen z originálního PDF dokumentu pomocí AI a může obsahovat nepřesnosti.
Podobná PDF
Theta Probe: Small Spot XPS Spectrometer with Parallel ARXPS Capability
2008|Thermo Fisher Scientific|Brožury a specifikace
Application Note: 31055 Theta Probe: Small Spot XPS Spectrometer with Parallel ARXPS Capability Description Key Words • Parallel ARXPS • Surface Analysis • Ultra-thin Films The Thermo Scientific Theta Probe, Figure 1, is a highperformance XPS instrument. Our patented Theta…
Klíčová slova
theta, thetathickness, thicknessxps, xpsprobe, probeparxps, parxpsgun, gunsample, sampleangle, anglemaps, mapsray, rayavantage, avantagedepth, depthoverlayer, overlayerturbomolecular, turbomolecularmulti
Angular Linearity and Resolution on Theta Probe
2008|Thermo Fisher Scientific|Aplikace
Application Note: 31004 Key Words • Surface Analysis • Angle Calibration • Angular Linearity • Angular Resolution Angular Linearity and Resolution on Theta Probe The unique feature of Thermo Scientific Theta Probe is its ability to make angle resolved XPS…
Klíčová slova
angular, angularelectrons, electronstheta, thetaangle, angleladder, ladderresolution, resolutionlinearity, linearityelectron, electronprobe, probeafrica, africaitotal, itotalcosθ, cosθelastically, elasticallyits, itssignal
Angle Resolved XPS
2008|Thermo Fisher Scientific|Aplikace
Application Note: 31014 Angle Resolved XPS Introduction Key Words • Surface Analysis • Depth Profiles • Thickness Measurement • Relative Depth Plots Using angle resolved XPS (ARXPS), it is possible to characterize ultra-thin films without sputtering. In most cases, ARXPS…
Klíčová slova
thickness, thicknessarxps, arxpslayer, layerangle, angleattenuation, attenuationdepth, depthoverlayer, overlayerxps, xpsinelastic, inelasticelastic, elasticangles, anglesphotoelectron, photoelectronfrom, fromnear, nearupon
The Karlsruhe Micro Nose, KAMINA
2008|Thermo Fisher Scientific|Aplikace
Application Note: 31052 Key Words • Surface Analysis • ARXPS at Each Point on Linescan • Automated Small Area Analysis • Routine Measurement of Thin Films • Measurement of Large Samples The Karlsruhe Micro Nose, KAMINA The growing demand for…
Klíčová slova
arxps, arxpstheta, thetaangle, anglethickness, thicknesssensor, sensorxps, xpsresolved, resolvedmicro, microdevice, deviceafrica, africacompensation, compensationkamina, kaminasilicon, siliconsubstrate, substrategraticule