Agilent ICP-MS Journal (August 2021, Issue 85)
Ostatní | 2021 | Agilent TechnologiesInstrumentace
ICP-MS (hmotnostní spektrometrie s indukčně vázaným plazmatem) je nezbytným nástrojem pro kvantitativní stanovení stopových a ultrastopových koncentrací prvků v různých oblastech, zejména v polovodičovém průmyslu, environmentální analýze, farmaceutickém výzkumu i kontrole kvality vody. Optimalizace metodiky a instrumentálního vybavení významně rozšiřuje analytické možnosti, zvyšuje citlivost, snižuje interferenční pozadí a zkracuje dobu analýzy.
Číslo 85 časopisu Agilent ICP-MS Journal (srpen 2021) se zaměřuje na následující klíčové oblasti:
Pro analýzu nečistot v ultrapure vodě:
Analýza ultrapure vody ukázala, že 8900 ICP-QQQ s hot plasma a m-lens dosahuje BEC < 0,5 ppt a DL < 0,3 ppt pro 26 prvků dle SEMI, kromě bóru (1,1 ppt), splňujících ASTM D5127-13 a SEMI F63-0521 požadavky. Studie space charge potvrdila, že lehké ionty (např. Li, B) jsou defokusovány více než těžké, což vysvětluje obvyklý tvar hmotnostně-odezvové křivky. Optimalizovaná geometrie konusů a čoček významně minimalizuje prostorový náboj a zlepšuje přenos až o desítky procent. Nové easy-fit hadičky přinášejí nižší únik kovů, rychlejší stabilizaci průtoku a zvýšenou produktivitu laboratorních workflow.
Aktuální vydání Agilent ICP-MS Journal přináší komplexní přístup ke zvýšení výkonnosti hmotnostních spektrometrů s plazmatem. Klíčové inovace v oblasti optiky, kolizně-reakční buňky, režimů plazmatu i spotřebního materiálu umožňují dosahovat nejnižších detekčních limitů, zajišťují robustnější provoz v různorodých matricích a usnadňují laboratorní workflow. Tím se výrazně rozšiřují analytické možnosti v průmyslu i akademickém výzkumu.
Spotřební materiál, ICP/MS, ICP/MS/MS
ZaměřeníŽivotní prostředí, Potraviny a zemědělství
VýrobceAgilent Technologies
Souhrn
Význam tématu
ICP-MS (hmotnostní spektrometrie s indukčně vázaným plazmatem) je nezbytným nástrojem pro kvantitativní stanovení stopových a ultrastopových koncentrací prvků v různých oblastech, zejména v polovodičovém průmyslu, environmentální analýze, farmaceutickém výzkumu i kontrole kvality vody. Optimalizace metodiky a instrumentálního vybavení významně rozšiřuje analytické možnosti, zvyšuje citlivost, snižuje interferenční pozadí a zkracuje dobu analýzy.
Cíle a přehled studie / článku
Číslo 85 časopisu Agilent ICP-MS Journal (srpen 2021) se zaměřuje na následující klíčové oblasti:
- Metoda ultratrace analýzy nečistot v ultrapure vodě pomocí Agilent 8900 ICP-QQQ s hot plasma a m-lens.
- Vysvětlení jevu space charge a jeho dopad na přenos iontů a citlivost ICP-MS.
- Novinky v oblasti spotřebního materiálu: snadno vyměnitelná peristaltická pumpovací hadička a průvodce objednávkou podle EPA 200.8, EPA 6020A a ISO 17294-2.
- Interaktivní periodická tabulka pro rychlé vyhledávání a objednávání referenčních materiálů.
- Aktuality k regulacím těžkých kovů v potravinách pro kojence a nové nástroje pro jejich stanovení.
Použitá metodika a instrumentace
Pro analýzu nečistot v ultrapure vodě:
- Agilent 8900 Triple Quadrupole ICP-MS (ICP-QQQ) v konfiguraci Semiconductor, PFA-100 mikroflow nebulizér (200 µL/min), křemenná tryska a spray komora, Pt-mřížka a Ni-skimmer s m-lens.
- Režimy kolizně-reakční buňky: He, H₂, NH₃+H₂ a O₂ pro potlačení interferencí.
- Vzorky kyselinyfikované 0,1 % HNO₃, kalibrace metodou standardních přídavků (5–40 ppt).
- Teoretická a experimentální analýza úbytku elektronů a zvýšeného rozptylu lehkých iontů v optice.
- Easy-fit peristaltická hadička o optimální délce, s flarovanými konci a barevnými značkami pro různé matrice (vodné, vysokomatrické, organické).
Hlavní výsledky a diskuse
Analýza ultrapure vody ukázala, že 8900 ICP-QQQ s hot plasma a m-lens dosahuje BEC < 0,5 ppt a DL < 0,3 ppt pro 26 prvků dle SEMI, kromě bóru (1,1 ppt), splňujících ASTM D5127-13 a SEMI F63-0521 požadavky. Studie space charge potvrdila, že lehké ionty (např. Li, B) jsou defokusovány více než těžké, což vysvětluje obvyklý tvar hmotnostně-odezvové křivky. Optimalizovaná geometrie konusů a čoček významně minimalizuje prostorový náboj a zlepšuje přenos až o desítky procent. Nové easy-fit hadičky přinášejí nižší únik kovů, rychlejší stabilizaci průtoku a zvýšenou produktivitu laboratorních workflow.
Přínosy a praktické využití metody
- Možnost spolehlivého stanovení ultratrace kontaminant ve vysoce čistých médiích bez nutnosti složitého chlazení plazmatu.
- Zvýšení citlivosti a snížení detekčních limitů při rutinní i speciální analýze prvků v polovodičovém i environmentálním sektoru.
- Zjednodušení údržby a objednávání spotřebního materiálu díky barevným identifikátorům a online průvodcům.
- Rychlé přizpůsobení se novým legislativním požadavkům (např. Baby Food Safety Act) a standardům ISO/EPA.
Budoucí trendy a možnosti využití
- Další rozvoj vícefázových kolizně-reakčních režimů pro potlačení složitých interferencí (polymery, matrice s vysokým obsahem soli).
- Integrace plně automatizovaných vzorkovačů a digitálních objednávkových systémů pro spotřební materiál.
- Využití umělé inteligence pro optimalizaci provozních parametrů a prediktivní údržbu ICP-MS systémů.
- Rozšíření aplikací do farmacie, biochemie a nukleární analýzy za současného zpřísňování legislativních limitů.
Závěr
Aktuální vydání Agilent ICP-MS Journal přináší komplexní přístup ke zvýšení výkonnosti hmotnostních spektrometrů s plazmatem. Klíčové inovace v oblasti optiky, kolizně-reakční buňky, režimů plazmatu i spotřebního materiálu umožňují dosahovat nejnižších detekčních limitů, zajišťují robustnější provoz v různorodých matricích a usnadňují laboratorní workflow. Tím se výrazně rozšiřují analytické možnosti v průmyslu i akademickém výzkumu.
Reference
- Sakai K., Shimamura Y. Determination of Ultratrace Elements in High Purity Water by ICP-QQQ, Agilent Technologies, application note 5991-7701EN.
- ASTM D5127-13 (2018) a SEMI F63-0521 (2021) – požadavky na ultrapure water v polovodičovém průmyslu.
- McCurdy E. Space Charge in ICP-MS: Causes and Analytical Implications, Agilent Technologies, 2021.
- Agilent ICP-MS Consumables Workflow Guide for Water Analysis, 5994-3274EN.
- Agilent Application Note: Analysis of Heavy Metals in Baby Food, 5994-3713EN.
Obsah byl automaticky vytvořen z originálního PDF dokumentu pomocí AI a může obsahovat nepřesnosti.
Podobná PDF
Ultrapure Process Chemicals Analysis by ICP-QQQ with Hot Plasma Conditions
2021|Agilent Technologies|Aplikace
Application Note Semiconductor Ultrapure Process Chemicals Analysis by ICP-QQQ with Hot Plasma Conditions Meeting single- and sub-ppt guideline levels for ASTM/SEMI elements in ultrapure water using an Agilent 8900 ICP-QQQ Authors Kazuhiro Sakai and Yoshinori Shimamura Agilent Technologies, Inc. Introduction…
Klíčová slova
semiconductor, semiconductorppt, pptbecs, becsdls, dlselements, elementsicp, icpultratrace, ultratracebec, becplasma, plasmacontaminants, contaminantseie, eieastm, astmupw, upwbackgrounds, backgroundssemi
Measuring Inorganic Impurities in Semiconductor Manufacturing
2022|Agilent Technologies|Příručky
Applications of ICP-MS Measuring Inorganic Impurities in Semiconductor Manufacturing Application Compendium > Return to table of contents > Search entire document Table of contents ICP-MS and ICP-QQQ in the Semiconductor Industry 4 Agilent Has Three Decades of ICP-MS Experience Driving…
Klíčová slova
return, returncontents, contentsicp, icptable, tablecps, cpsppt, pptgas, gassemiconductor, semiconductorconc, concqqq, qqqbec, becdocument, documententire, entiresearch, searchmode
Agilent 8900 Triple Quadrupole ICP-MS (Technical Overview)
2025|Agilent Technologies|Technické články
Agilent 8900 Triple Quadrupole ICP-MS Technical Overview Introduction Agilent is the worldwide market leader in quadrupole ICP-MS, and the only supplier of triple quadrupole ICP-MS (ICP-QQQ). Introduced in 2012, ICP‑QQQ has transformed interference removal in ICP‑MS, using MS/MS to control…
Klíčová slova
icp, icpqqq, qqqsensitivity, sensitivityacceleration, accelerationions, ionscell, celldls, dlsreaction, reactionquadrupole, quadrupoleapplications, applicationssemiconductor, semiconductorsignal, signalaxial, axialhigh, highnps
Agilent Atomic Spectroscopy Solutions for the Semiconductor Industry
2020|Agilent Technologies|Příručky
Agilent Atomic Spectroscopy Solutions for the Semiconductor Industry > Search entire document Contents 2 Trace Elements in the Semiconductor Industry 3 Three Decades of ICP-MS Experience Drives Continuous Innovation 6 Agilent ICP-MS Solutions for the Semiconductor Industry 7 Setups for…
Klíčová slova
semiconductor, semiconductoricp, icpreturn, returndocument, documententire, entiresearch, searchcontents, contentstable, tablecontamination, contaminationwafer, waferlabware, labwareagilent, agilentupw, upwcleaning, cleaningchemicals