The Determination of Sodium, Calcium and Silicon in Pure Water by Graphite Furnace AA
Aplikace | 2010 | Agilent TechnologiesInstrumentace
V technologii výroby polovodičových čipů je odstranění stopových kontaminantů klíčové pro zamezení poruch zapojení. Analyzovat koncentrace Na, Ca a Si v ultrapurové vodě je proto nepostradatelné pro udržení kvality procesu.
Studie se zaměřuje na vývoj citlivé a reprodukovatelné analytické metody pro stanovování stop Na, Ca a Si v čisté vodě pomocí grafitové pecní atomizace spojené s atomovou absorpční spektrometrií (GF-AAS).
Metoda umožňuje rutinní kontrolu ultrapurové procesní vody v mikroelektronice, poskytuje vysokou citlivost při nízkých koncentracích stopových prvků a přispívá ke spolehlivosti výrobního procesu.
GF-AAS s programovatelným dávkovačem se ukazuje jako efektivní nástroj pro stanovení trace Na, Ca a Si v ultrapurové vodě. Metoda splňuje požadavky na nízké detekční limity, reprodukovatelnost a lze ji rutinně využít v průmyslu.
AAS
ZaměřeníŽivotní prostředí
VýrobceAgilent Technologies
Souhrn
Význam tématu
V technologii výroby polovodičových čipů je odstranění stopových kontaminantů klíčové pro zamezení poruch zapojení. Analyzovat koncentrace Na, Ca a Si v ultrapurové vodě je proto nepostradatelné pro udržení kvality procesu.
Cíle a přehled studie / článku
Studie se zaměřuje na vývoj citlivé a reprodukovatelné analytické metody pro stanovování stop Na, Ca a Si v čisté vodě pomocí grafitové pecní atomizace spojené s atomovou absorpční spektrometrií (GF-AAS).
Použitá instrumentace
- Agilent SpectrAA-30A s grafitovou pecí GTA-96
- Programovatelný dávkovač PSD-96
- Agilent duté katodové lampy pro Na, Ca a Si
- Argon (99,999 %) jako inertní plyn
- Iontovýměnný filtr Hager a Elsässer a systém Nanopure pro přípravu ultrapurové vody
Hlavní výsledky a diskuse
- Křivky kalibrace pro Ca a Na byly lineární (r>0,996); pro Si byl použit polynomiální fit.
- Metoda dosahuje detekčních limitů 0,05–0,20 ng/mL pro Na a Ca a 2,1 ng/mL pro Si (DIN 38 402), resp. 0,06 ng/mL (Na), 0,13 ng/mL (Ca) a 2,1 ng/mL (Si) dle IUPAC.
- Opakovatelnost lepší než 10 % RSD; u Ca v rozmezí 1,2–3,5 %.
- Vícenásobné vstřikování zlepšuje citlivost až 10–20krát.
Přínosy a praktické využití metody
Metoda umožňuje rutinní kontrolu ultrapurové procesní vody v mikroelektronice, poskytuje vysokou citlivost při nízkých koncentracích stopových prvků a přispívá ke spolehlivosti výrobního procesu.
Budoucí trendy a možnosti využití
- Další optimalizace teplotních programů a chemických modifikátorů.
- Integrace s automatizovanými systémy pro kontinuální monitoring.
- Využití vícenásobné atomizace pro zvýšení citlivosti.
- Aplikace ve širší průmyslové a environmentální analytice.
Závěr
GF-AAS s programovatelným dávkovačem se ukazuje jako efektivní nástroj pro stanovení trace Na, Ca a Si v ultrapurové vodě. Metoda splňuje požadavky na nízké detekční limity, reprodukovatelnost a lze ji rutinně využít v průmyslu.
Reference
- K. Marquardt, Marine Technology 16(4), 155–160 (1985)
- W. Frech, A. Cedergren, Anal. Chim. Acta 113, 227–235 (1980)
- H. Kaiser, Z. Fresenius, Anal. Chem. 209, 1–18 (1965)
- H. Kaiser, Z. Fresenius, Anal. Chem. 216, 80–93 (1966)
- G. L. Long, J. D. Winefordner, Anal. Chem. 55, 713A–724A (1983)
- Deutsche Einheitsverfahren zur Wasser-, Abwasser- und Schlammuntersuchung DIN 38 402, Teil 5
Obsah byl automaticky vytvořen z originálního PDF dokumentu pomocí AI a může obsahovat nepřesnosti.
Podobná PDF
Direct Determination of As, Cu and Pb in Seawater by Zeeman Graphite Furnace Atomic Absorption Spectrometry
2010|Agilent Technologies|Aplikace
Direct Determination of As, Cu and Pb in Seawater by Zeeman Graphite Furnace Atomic Absorption Spectrometry Application Note Atomic Absorption Author Introduction Tran T. Nham Environmental pollution is becoming an increasingly important issue and receiving world wide attention. There is…
Klíčová slova
normal, normalseawater, seawaterinject, injectfurnace, furnaceparameters, parametersmodifier, modifieryes, yeszeeman, zeemanarsenic, arseniccopper, copperatomization, atomizationrecalibration, recalibrationblank, blankdetermination, determinationcommand
Analysis of Shellfish Tissue for Cadmium, Mercury and Nickel
2010|Agilent Technologies|Aplikace
Analysis of Shellfish Tissue for Cadmium, Mercury and Nickel Application Note Atomic Absorption Author Introduction Jonathan H. Moffett Huge amounts of toxic effluents are being dumped either directly or indirectly into the world’s oceans. The ocean's organisms concentrate these toxic…
Klíčová slova
normal, normalshellfish, shellfishcadmium, cadmiuminject, injectmercury, mercurylamp, lampconc, concslit, slitsoln, solnabsorbance, absorbancenickel, nickelyes, yessample, samplemode, modecertif
Evaluation of Three Methods of Matrix Modifier Injection in Graphite Furnace AAS
2010|Agilent Technologies|Aplikace
Evaluation of Three Methods of Matrix Modifier Injection in Graphite Furnace AAS Application Note Atomic Absorption Author Introduction Deen Johnson The determination of metals by graphite furnace atomic absorption spectroscopy (GFAAS) often requires the use of a chemical matrix modifier.…
Klíčová slova
normal, normalmodifier, modifierinject, injectfurnace, furnaceyes, yespre, preinjection, injectiongraphite, graphitereslope, resloperecalibration, recalibrationmean, meanparameters, parametersspectraa, spectraadeviation, deviationwet
Determination of Platinum and Palladium in Chelated Systems by GFAAS
2010|Agilent Technologies|Aplikace
Determination of Platinum and Palladium in Chelated Systems by GFAAS Application Note Atomic Absorption Authors Introduction Peter Watkins With the discovery of the anti-tumour properties of cis-dichlorodiammineplatinum(II) (cisplatin) [1], intensive research has been completed which examines the role of platinum…
Klíčová slova
normal, normalplatinum, platinumautomix, automixpalladium, palladiuminject, injectreslope, resloperage, rageresult, resultyes, yesspectraa, spectraapremixed, premixedhollow, hollowrecalibration, recalibrationblank, blankcathode
